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最新MEMS研究课题

Academic MEMS Research Topics

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课程介绍

本节主要讲述:

一、Design and Realisation of Micro- and Nanosystems

-微型和纳米系统的设计与实现

2SOI Process Technology

-SOI工业技术

3Mechanical Amplification

-机械放大

4Intelligent Control and Interface Circuits and Systems

-智能控制及接口电路及系统

5Coupled Resonators

-耦合谐振器

 

二、Electrostatic and Magnetic Levitation

-静电与磁悬浮

1MEMS Railgun

-MEMS电磁轨道炮

2Inertial Sensors with Levitating Proof Mass

-悬浮质量块的惯性传感器

三、MEMS for Nanosystems 

-微纳米系统

1Atom/Ion Chips

-原子/离子芯片

23D Integration

-三维集成

四、Micro-technology for Medical and Environmental Applications

-医疗与环境中的微技术应用

授课教师

MEMS专家

课程特色

视频(2)
下载资料(1)

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